本指南旨在为初学者提供 SECS/GEM 及其在半导体行业中的应用的概述教程和基本介绍。这无意替代或作为标准的完整参考。有关标准的完整参考，请参阅SEMI。 如果您想了解更多关于 SECS/GEM 的信息 以及我们的产品如何帮助您发展，请联系我们的销售代表：sales@in...

在开发 300mm 晶圆之前，SEMI SECS-II E5 和 GEM E30 是使 IC 制造商能够通信和控制晶圆加工设备的初始标准。 随着更大更重的 300 毫米晶圆和更小的芯片拓扑结构的引入，操作员装载或卸载材料变得不切实际，并面临污染风险。因此，半导体工厂需要进...